Problemstellung
In Halbleiterfabriken werden Fertigungsaufträge in speziellen Transportboxen transportiert und gelagert (z. B. FOUP, SMIF, Kassetten, Boxen). Zur Kennzeichnung dieser Fertigungsaufträge und -chargen dienen Reinraumpapier, optisch bedruckte Karten oder RFID-Transponder. Mithilfe dieser Kennzeichnungsvarianten werden Objekte identifiziert und mit Informationen verknüpft. Mitarbeiter in der Produktion oder Logistik können diese Informationen nutzen, um Zuordnungen vorzunehmen und Prozessschritte nachzuvollziehen.
Analoge Prozesse verwenden Papier oder bedruckte Medien, die manuell aktualisiert werden müssen, beispielsweise handschriftlich durch die Mitarbeiter. Dies kostet Arbeitszeit und kann zu Fehlern führen, denn die Mitarbeiter müssen die Papiere abnehmen und die Informationen an der richtigen Stelle korrekt und gut leserlich eintragen. Bei weiteren Änderungen im Prozess können die Angaben vom aktuellen Datenstand abweichen.
In einer automatisierten Halbleiterfabrik mit digitalen Kennzeichnungs- und Identifikationsprozessen werden die Daten in Datenbanken gespeichert und aktualisiert. Die entsprechende Verknüpfung mit dem Fertigungsauftrag oder der Charge wird mittels eines RFID-Transponders oder Barcodes realisiert. Die Identifikation kann dabei automatisch erfolgen. Mitarbeiter können jedoch nicht unmittelbar am Transportbehälter erkennen, um welchen Auftrag es sich im Detail handelt, welchen Status dieser hat und welche Folgeprozessschritte anstehen, beispielsweise das Transportziel für den nächsten Fertigungsschritt. Dafür werden mobile Endgeräte oder ID-Stationen mit entsprechenden Displays zur Visualisierung der Informationen benötigt. Diese müssen verfügbar sein und lassen sich je nach Platzverhältnissen und Installationskosten nicht an jedem Standort einsetzen.
Lösung
Um die oben genannten Probleme zu lösen und analoge Prozesse zu digitalisieren und zu automatisieren, bietet HERMOS die RFID DISPL(((ID))) Lösung. Diese arbeitet passiv und kommt ohne eigene Energieversorgung wie beispielsweise Batterien aus. Ein Batteriewechsel ist daher nicht erforderlich. Die Lösung bietet sowohl einen passiven LF-RFID-Transponder (134,2 kHz) als auch ein gekoppeltes, passives E-Ink-Display zur optischen Visualisierung wichtiger Informationen. Die Energie zur Änderung des Anzeigeinhalts bezieht das E-Ink-Display über den gekoppelten LF-Transponder und dieser wiederum aus dem Antennenfeld des RFID-Systems von HERMOS.
Somit kann die passive RFID-Technologie zur automatischen Identifikation der Fertigungsaufträge und -chargen genutzt werden, wie sie HERMOS bereits seit vielen Jahrzehnten in der Halbleiterindustrie einsetzt. FOUPs oder Kassetten können an entsprechend ausgestatteten Beladepunkten der Fertigungsanlage, am Load Port oder im Stocker automatisch identifiziert werden. Auch manuelle ID-Vorgänge sind weiterhin möglich.
Die HERMOS RFID DISPL(((ID))) Lösung kann papierbasierte oder festbedruckte Laufkarten in den dafür vorgesehenen Prozessen ersetzen. Als digitale Laufkarte lässt sie sich per RFID aktualisieren, ohne dass Mitarbeiter die Inhalte handschriftlich ändern oder die Laufkarte neu bedrucken müssen. Für diese Aktualisierung werden weder Papier noch Druckmaterialien benötigt.
In der Vollausbaustufe kann die Lösung zusätzlich den integrierten passiven LF-Transponder (134,2 kHz) zur automatischen Identifikation des Fertigungsauftrags am entsprechenden Lesepunkt der Prozesskette nutzen. Damit verbindet sie automatisierte Identifikation und digitale Visualisierung der Informationen ohne eigene Batterie.
