Ready for RFID
Für die Herstellung von Microchips werden die Verfahren der Halbleitertechnik in einer bestimmten Folge auf einem Substrat angewendet. Als Substrat dient hierbei meist eine dünne Scheibe eines Halbleiter-Einkristalls (meist Silizium), ein sogenannter Wafer.
Fehlerfreie Steuerung und eine lückenlose Überwachung aller Produktionsschritte in einer Halbleiterfabrik sind unabdingbar für eine verlustfreie Produktion. Namhafte Hersteller der Chip-Industrie vertrauen auf unsere RFID-Systeme und deren Zuverlässigkeit in ihren Produktionsanlagen.
Die Aufgabenstellung
Die Wafer durchlaufen vielfältige chemische und optische Prozessschritte, bis aus ihnen fertige Microchips entstanden sind. Jeder dieser Schritte ist mit Aufwand und Kosten verbunden, so dass Fehler während des Produktionsablaufs immer teurer werden. Das Ziel einer lückenlose Prüfung der Materialien vor jedem Prozessschritt ist die Verhinderung von Fehlern und dadurch die Vermeidung von Kosten.
Die Umsetzung
Jede Kassette ist durch einen Transponder, der eine eindeutige Identifikationsnummer mitbringt, gekennzeichnet. Anhand dieser ID-Nummer werden die Kassetten während der einzelnen Produktionsschritte überprüft und die auf dem Transponder enthaltenen Informationen ständig mit den Spezifikationen der Anlage verglichen.
Nur bei Übereinstimmung des Datensatzes läuft die Kassette weiter und die Siliziumscheiben werden nacheinander bearbeitet. Ist der vorgegebene Lebenszyklus einer Kassette überschritten? Diese wichtige Frage können wir mit der RFID-Technik leicht beantworten – egal ob in einer neuen Halbleiterfab oder beim Thema Retrofit einer älteren Fab. Unser Kunde erhält jederzeit Angaben über das Alter der Kassette, die Anzahl der Prozessdurchgänge sowie die Anzahl der Reinigungsschritte. Natürlich erkennt er auch, welche Verfahren diese spezielle Kassette durchlaufen hat. Unser Kontrollsystem sichert so die Produktionsschiene unseres Kunden und hilft die Prozesse zu optimieren, Durchlaufzeiten zu verringern und falsche Prozessierung zu vermeiden.
Bei der Entwicklung und Produktion unserer Geräte beachten wir alle Anforderungen für den Einsatz in Reinräumen der Halbleiterindustrie. Wir liefern gereinigte und reinraumgerecht verpackte RFID-Komponenten. Durch unsere langjährige Erfahrung in der Halbleiterbranche bieten wir maßgeschneiderte Lösungen für vielfältige Anwendungen.
- Berührungsloser Betrieb
- Identifikation direkt an der Produktionsanlage
- Durchgehende Überprüfung aller Produktionsschritte durch automatischen Abgleich mit der Datenbank
- Überwachung des Lebenszyklus der Produktionskassette
