RFID in der Halbleiterindustrie

Blick in eine Halbleiterindustrie
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Ready for RFID

Für die Herstellung von Microchips werden die Verfahren der Halbleitertechnik in einer bestimmten Folge auf einem Substrat angewendet. Als Substrat dient hierbei meist eine dünne Scheibe eines Halbleiter-Einkristalls (meist Silizium), ein sogenannter Wafer.

Fehlerfreie Steuerung und eine lückenlose Überwachung aller Produktionsschritte sind unabdingbar für eine verlustfreie Produktion. Namhafte Hersteller der Chip-Industrie vertrauen auf unsere RFID-Systeme und deren Zuverlässigkeit in ihren Produktionsanlagen.

Die Aufgabenstellung

Die Wafer durchlaufen vielfältige chemische und optische Prozessschritte, bis aus ihnen fertige Microchips entstanden sind. Jeder dieser Schritte ist mit Aufwand und Kosten verbunden, so dass Fehler während des Produktionsablaufs immer teurer werden. Das Ziel einer lückenlose Prüfung der Materialien vor jedem Prozessschritt ist die Verhinderung von Fehler und dadurch die Vermeidung von Kosten.

Die Umsetzung

Jede Kassette ist durch einen Transponder, der eine eindeutige Identifikationsnummer mitbringt, gekennzeichnet. Anhand dieser ID-Nummer werden die Kassetten während der einzelnen Produktionsschritte überprüft und die auf dem Transponder enthaltenen Informationen ständig mit den Spezifikationen der Anlage verglichen.

Nur bei Übereinstimmung des Datensatzes läuft die Kassette weiter und die Siliziumscheiben werden nacheinander bearbeitet. Ist der vorgegebene Lebenszyklus einer Kassette überschritten? Diese wichtige Frage können wir mit der RFID-Technik leicht beantworten. Unser Kunde erhält jederzeit Angaben über das Alter der Kassette, die Anzahl der Prozessdurchgänge sowie die Anzahl der Reinigungsschritte. Natürlich erkennt er auch, welche Verfahren diese spezielle Kassette durchlaufen hat. Unser Kontrollsystem sichert so die Produktionsschiene unseres Kunden und hilft die Prozesse zu optimieren, Durchlaufzeiten zu verringern und falsche Prozessierung zu vermeiden.

Bei der Entwicklung und Produktion unserer Geräte beachten wir alle Anforderungen für den Einsatz in Reinräumen der Halbleiterindustrie. Wir liefern gereinigte und reinraumgerecht verpackte RFID-Komponenten. Durch unsere langjährige Erfahrung in der Halbleiterbranche bieten wir maßgeschneiderte Lösungen für vielfältige Anwendungen.

Ein Mann mit weißem Ganzkörperanzug läuft an einem Regal mit schwarzen Boxen vorbei
Das WIP-Rack-Regal von HERMOS
Ein Mann mit weißem Ganzkörperanzug sitzt in einem Reinraum und wischt über einen schwarzen Kasten
  • Berührungsloser Betrieb
  • Identifikation direkt an der Produktionsanlage
  • Durchgehende Überprüfung aller Produktionsschritte durch automatischen Abgleich mit der Datenbank
  • Überwachung des Lebenszyklus der Produktionskassette

Business Segment/e:

  • RFID

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